8” Al-0.5%Cu target
8” Ti target
8” Co target
8” Cu target
8” Ta target
12” Ti target
12” CuAl/CuMn target
12” Ta target
12” NiPt 5at%(10at%)
8” Al-0.5%Cu target
8” Ti target
8” Co target
8” Cu target
8” Ta target
12” Ti target
12” CuAl/CuMn target
12” Ta target
12” NiPt 5at%(10at%)