半導體設備材料

  1. 半導體設備材料
薄膜金屬加熱器

薄膜金屬加熱器

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詳細介紹

 

  •  ASM Eagle-10
  • 8” PECVD
  • CIP type

 

 

  • NVLS Vector
  • 12” PECVD
  • Standard type

 

 

  • Novellus
  • 8” PECVD
  • CIP type

 

 

  • NVLS C3 Altus
  • 12” WCVD
  • Standard type

 

 

 

  • ASM Eagle-10
  • 8” PECVD
  • Standard type

 

 

 

  • NVLS Altus
  • 8” WCVD
  • CIP type

 

 

 

  • AMAT WxZ 
  • 8” WCVD
  • CIP type

 

 

 

 

  • AMAT WxZ CPR
  • 6” WCVD
  • CIP type

 

 

 

 

 

  • AMAT TxZ
  • 8” MOCVD
  • CIP type

 

 

 

 

 

  • AMAT DxZ
  • 8” PECVD
  • CIP type

 

 

 

 

  •  AMAT EPI
  • 8” 12” Susceptor
  • CIP type

 

 

 

 

 

  • AMAT 高溫DxZ
  • 8” PECVD
  • CIP type

 

 

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